| 1. Identificação | |||||||||||||
| Tipo de Referência | Livro ou Monografia (Book) | ||||||||||||
| Site | mtc-m21b.sid.inpe.br | ||||||||||||
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | ||||||||||||
| Identificador | 8JMKD3MGP3W34P/3JCB2CE | ||||||||||||
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21b/2015/04.22.19.14 | ||||||||||||
| Última Atualização | 2019:12.17.11.34.50 (UTC) sergio | ||||||||||||
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21b/2015/04.22.19.14.39 | ||||||||||||
| Última Atualização dos Metadados | 2019:12.17.11.35.57 (UTC) sergio | ||||||||||||
| Chave Secundária | INPE-17551-MAN/86 | ||||||||||||
| Rótulo | self-archiving-INPE-MCTI-GOV-BR | ||||||||||||
| Chave de Citação | MarcondesMell:2015:LiPaRC | ||||||||||||
| Título | Procedimento de limpeza de lâminas de silício: limpeza padrão RCA  | ||||||||||||
| Ano | 2015 | ||||||||||||
| Data de Acesso | 11 maio 2024 | ||||||||||||
| Tipo Secundário | MAN | ||||||||||||
| Número de Páginas | 19 | ||||||||||||
| Número de Arquivos | 1 | ||||||||||||
| Tamanho | 648 KiB | ||||||||||||
| 2. Contextualização | |||||||||||||
| Autor | 1 Marcondes, André Ricardo 2 Mello, Carina Barros | ||||||||||||
| Identificador de Curriculo | 1 8JMKD3MGP5W/3C9JGHM | ||||||||||||
| Grupo | 1 LAP-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 2 LAP-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR | ||||||||||||
| Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) | ||||||||||||
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 andre.marcondes@inpe.br 2 carina@plasma.inpe.br | ||||||||||||
| Endereço de e-Mail | viviane@plasma.inpe.br | ||||||||||||
| Editora (Publisher) | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais | ||||||||||||
| Cidade | São José dos Campos | ||||||||||||
| Histórico (UTC) | 2015-04-22 19:14:39 :: viviane@plasma.inpe.br -> yolanda :: 2015-06-09 18:26:04 :: yolanda -> marcelo.pazos@inpe.br :: 2015-06-10 13:16:00 :: marcelo.pazos@inpe.br :: -> 2015 2015-06-10 13:25:21 :: marcelo.pazos@inpe.br -> administrator :: 2015 2015-06-10 19:24:23 :: administrator -> yolanda :: 2015 2015-06-10 19:26:31 :: yolanda -> marcelo.pazos@inpe.br :: 2015 2015-06-10 19:27:01 :: marcelo.pazos@inpe.br -> administrator :: 2015 2015-06-11 15:13:51 :: administrator -> yolanda :: 2015 2015-06-11 16:14:05 :: yolanda -> marcelo.pazos@inpe.br :: 2015 2015-06-11 16:14:18 :: marcelo.pazos@inpe.br -> administrator :: 2015 2018-06-04 02:55:22 :: administrator -> simone :: 2015 2019-12-17 11:28:28 :: simone -> sergio :: 2015 | ||||||||||||
| 3. Conteúdo e estrutura | |||||||||||||
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz | ||||||||||||
| Estágio do Conteúdo | concluido | ||||||||||||
| Transferível | 1 | ||||||||||||
| Palavras-Chave | procedimentos lâminas de silício processo RCA | ||||||||||||
| Resumo | Este documento apresenta alguns conceitos teóricos e os procedimentos necessários para a execução de limpeza de lâminas de silício destinadas ao tratamento por implantação iônica por imersão em plasma. | ||||||||||||
| Área | ETES | ||||||||||||
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Procedimento de limpeza... | ||||||||||||
| Conteúdo da Pasta doc | acessar | ||||||||||||
| Conteúdo da Pasta source |
| ||||||||||||
| Conteúdo da Pasta agreement |
| ||||||||||||
| 4. Condições de acesso e uso | |||||||||||||
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3JCB2CE | ||||||||||||
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34P/3JCB2CE | ||||||||||||
| Idioma | pt | ||||||||||||
| Arquivo Alvo | publicacao.pdf | ||||||||||||
| Grupo de Usuários | administrator marcelo.pazos@inpe.br sergio viviane@plasma.inpe.br yolanda.souza@mcti.gov.br | ||||||||||||
| Grupo de Leitores | administrator marcelo.pazos@inpe.br sergio simone viviane@plasma.inpe.br yolanda.souza@mcti.gov.br | ||||||||||||
| Visibilidade | shown | ||||||||||||
| Licença de Direitos Autorais | urlib.net/www/2012/11.12.15.10 | ||||||||||||
| Detentor da Cópia | SID/SCD | ||||||||||||
| Permissão de Leitura | allow from all | ||||||||||||
| Permissão de Atualização | não transferida | ||||||||||||
| 5. Fontes relacionadas | |||||||||||||
| Repositório Espelho | urlib.net/www/2011/03.29.20.55 | ||||||||||||
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS | ||||||||||||
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.25.21.49 2 sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.40.04 1 sid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.22 1 | ||||||||||||
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.20 | ||||||||||||
| 6. Notas | |||||||||||||
| Campos Vazios | archivingpolicy archivist callnumber contenttype creatorhistory descriptionlevel dissemination doi edition editor format isbn issn lineage mark nextedition notes numberofvolumes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark serieseditor seriestitle session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype translator url versiontype volume | ||||||||||||
| 7. Controle da descrição | |||||||||||||
| e-Mail (login) | sergio | ||||||||||||
| atualizar | |||||||||||||